Простийпошук |
Розширенийпошук |
Покажчики
|
Професійний пошук |
Рубрикатор НБУВ |
Розподілений пошук |
Бази даних
Наукова періодика України - результати пошуку
Книжкові видання та компакт-дискиЖурнали та продовжувані виданняАвтореферати дисертаційРеферативна база данихНаукова періодика УкраїниТематичний навігаторАвторитетний файл імен осіб
 |
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
Повнотекстовий пошук
| Знайдено в інших БД: | Реферативна база даних (1) |
Список видань за алфавітом назв: Авторський покажчик Покажчик назв публікацій  |
Пошуковий запит: (<.>A=Hladkovskiy V$<.>) | |||
|
Загальна кількість знайдених документів : 2 Представлено документи з 1 до 2 |
|||
| 1. | 
Hladkovskiy V. V. Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures [Електронний ресурс] / V. V. Hladkovskiy, O. A. Fedorovich // Український фізичний журнал. - 2017. - Т. 62, № 3. - С. 206-211. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2017_62_3_5 Наведено результати експериментальних досліджень впливу напруги зміщення на еволюцію спектрів випромінювання плазми під час травлення нітриду галію в плазмохімічному реакторі (ПХР) з керованими магнітними полями. За значень напруги зміщення більших за -250 В на спектрах випромінювання плазми з'являються лінії, що належать збудженим атомам матеріалів, з яких виготовлений робочий електрод. Під впливом від'ємного потенціалу проходить розпилення активного електрода і переосадження іонів металу на поверхню зразка, який обробляється, що призводить до зменшення швидкості травлення. | ||
| 2. | 
Hladkovskiy V. V. Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures [Електронний ресурс] / V. V. Hladkovskiy, O. A. Fedorovich // Ukrainian journal of physics. - 2017. - Vol. 62, № 3. - С. 208-213. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Ukjourph_2017_62_3_5 Наведено результати експериментальних досліджень впливу напруги зміщення на еволюцію спектрів випромінювання плазми під час травлення нітриду галію в плазмохімічному реакторі (ПХР) з керованими магнітними полями. За значень напруги зміщення більших за -250 В на спектрах випромінювання плазми з'являються лінії, що належать збудженим атомам матеріалів, з яких виготовлений робочий електрод. Під впливом від'ємного потенціалу проходить розпилення активного електрода і переосадження іонів металу на поверхню зразка, який обробляється, що призводить до зменшення швидкості травлення. | ||
Попередній перегляд: 
Реферативна БД
 |
| Відділ наукової організації електронних інформаційних ресурсів |
 Пам`ятка користувача |